一、電子工業潔凈廠房化學品供應設計一般要求

1. 潔凈廠房內化學品的儲存、輸送方式，應根據產品生產工藝和化學品的品質、數量、物理化學特性等確定。

2. 潔凈廠房內使用的各類化學品應按照各自的物理化學特性分類和儲存，并應符合現行國家標準《常用危險化學品的分類及標志》GB 13690的有關規定。

3. 在潔凈室（區）內使用危險化學品的生產設備或空間，應采取相應的安全保護措施。

二、電子工業潔凈廠房化學品供應管材和閥門設計要求

1. 化學品供應系統管道材質的選用，應按所輸送化學品的物理化學性質確定，并應選擇化學穩定性能良好和相容性好的材料。

2. 輸送腐蝕性化學品的管道，可直接采用非金屬管材，但應設置保護套管。

3. 化學品輸送管路系統，對多臺生產設備供應化學品時，應設置分配閥箱。

4. 輸送有機溶劑的管道材質，宜采用低碳不銹鋼管；輸送酸、堿類管道材質，宜采用聚四氟乙烯。用于管道系統的墊片，宜采用氟橡膠或聚四氟乙烯。

5. 用于化學品管路的閥門材質應與管道材質一致。