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潔凈室氣密性檢測方法

發(fā)布時間:2022-06-06 16:20人氣:

一、潔凈室氣密性檢測方法原理

1. 保持室內(nèi)為正壓或負(fù)壓均能滿足檢驗要求,但條件允許時,負(fù)壓潔凈室宜用正壓檢驗,正壓潔凈室宜用負(fù)壓檢驗。

2. 可按以下方法進行檢測:

      (1) 壓力衰減法

      使室內(nèi)達(dá)到某一壓力(正壓或負(fù)壓),關(guān)閉加壓或抽負(fù)壓系統(tǒng),觀察壓力隨時間衰減的情況,記錄下壓力衰減到起始壓力的一半時所用的時間,即為測量室內(nèi)正壓或負(fù)壓的半衰期。

      (2) 恒壓法

      使室內(nèi)達(dá)到某一正壓,同時向室內(nèi)補氣,使室壓達(dá)到要求的穩(wěn)定值而不下降時的補氣量即為漏泄量。使室內(nèi)達(dá)到某一負(fù)使室壓維持要求的穩(wěn)定值而不下降時的抽氣量即為漏泄量。

二、壓力衰減法

1. 測試系統(tǒng)如圖G.2.1所示。

2. 可按以下步驟進行檢測

      (1) 將所測潔凈室的溫度控制在設(shè)計范圍內(nèi)并保持穩(wěn)定,記錄壓力衰減測試過程中室內(nèi)溫度的變化(溫度計或溫度傳感器的最小示值不宜大于0.1℃)。

      (2) 關(guān)閉所測潔凈室圍護結(jié)構(gòu)上的門、傳遞窗等,關(guān)閉回風(fēng)管(或排風(fēng)管)上的氣密閥門,不得在風(fēng)口上加其他密封措施,并維持各種孔洞縫隙的密封現(xiàn)狀。

      (3) 開啟送風(fēng),使室內(nèi)壓力上升至已商定的測試壓力(壓力計量程至少為測試壓力的1.5倍,最小示值不宜大于10Pa),壓力穩(wěn)定后,停止送風(fēng),關(guān)閉送風(fēng)閥門。

G.2.1.jpg

圖G.2.1 壓力衰減法系統(tǒng)

1-潔凈室;2-送風(fēng)機;3一調(diào)節(jié)閥;4-密閉閥;5--微壓計;6一排風(fēng)機

      (4) 或反之關(guān)閉送風(fēng)管上的閥門,如果送風(fēng)管上無閥或閥不嚴(yán),應(yīng)在送風(fēng)口上用塑料膜加盲板的方法封住風(fēng)口,開啟排風(fēng),使室內(nèi)壓力下降至已商定的測試壓力,壓力穩(wěn)定后,停止排風(fēng),關(guān)閉排風(fēng)氣密閥門。

      (5) 從停止送(排)風(fēng)起,記錄壓力隨時間衰減的數(shù)據(jù),每1min記錄1次壓差和溫度,連續(xù)記錄至室內(nèi)壓力下降至初始壓力的一半時止。

      (6) 測試結(jié)束后慢慢打開風(fēng)閥,使房間壓力恢復(fù)到正常狀態(tài)。

      (7) 如果需要進行重復(fù)測試,20min后進行。

      (8) 當(dāng)不用風(fēng)機時也可用空氣壓縮機或真空泵。

3. 檢測報告應(yīng)包括以下內(nèi)容:

      (1) 檢測條件,包括室內(nèi)溫度等。

      (2) 檢測方法包括檢測所用儀器設(shè)備規(guī)格型號及精度;所測潔凈室壓力、溫度的動態(tài)變化;檢測持續(xù)的時間。

      (3) 檢測結(jié)果包括所測潔凈室壓力下降至初始壓力的1/2時的時間內(nèi)壓力衰減率;所測潔凈室圍護結(jié)構(gòu)嚴(yán)密性的評價。

三、恒壓法

1. 測試系統(tǒng)如圖G.3.1所示。

G.3.1.jpg

圖G.3.1 恒壓法測試系統(tǒng)

1-潔凈室;2-送風(fēng)機;3-調(diào)節(jié)閥;4-密閉閥;5-微壓計;6-排風(fēng)機;7-氣泵;8-流量計;9-真空泵

      注:正壓檢驗時用氣泵,負(fù)壓檢驗時用真空泵

2. 可按以下步驟進行檢測:

      (1) 將所測潔凈室的溫度控制在設(shè)計范圍內(nèi)并保持穩(wěn)定,記錄測試過程中室內(nèi)溫度的變化(溫度計或溫度傳感器的最小示值不宜大于0.1℃)。

      (2) 關(guān)閉所測潔凈室圍護結(jié)構(gòu)上的門、傳遞窗等,關(guān)閉回風(fēng)管(或排風(fēng)管)上的閥門,如果風(fēng)管上無閥或閥不嚴(yán),應(yīng)在回風(fēng)口(或排風(fēng)口)上用塑料膜加盲板的方法封住風(fēng)口。

      (3) 開啟送風(fēng),使室內(nèi)壓力上升至500Pa,停止送風(fēng),關(guān)閉送風(fēng)閥門。

      通過圍護結(jié)構(gòu)上的孔洞和導(dǎo)管,由送風(fēng)機或空氣壓縮機向室內(nèi)補氣,通過調(diào)節(jié)安裝在導(dǎo)管上的調(diào)節(jié)閥調(diào)整補氣流量,以維持潔凈室內(nèi)的壓力穩(wěn)定不下降,每隔1min記錄一次補氣管路上浮子流量計讀數(shù),此數(shù)即為漏氣量,測試持續(xù)的時間宜不超過5min,取平均值。

      (4) 反之關(guān)閉送風(fēng)閥,開啟排風(fēng),當(dāng)內(nèi)壓力下降至-500Pa時關(guān)閉排風(fēng),開啟真空泵保持室內(nèi)壓力,記錄真空泵抽氣量,此數(shù)即漏泄量。

      (5) 測試結(jié)束后慢慢打開風(fēng)閥,使房間壓力恢復(fù)到正常狀態(tài)。

      (6) 如果需要進行重復(fù)測試,20min后進行。

      (7) 當(dāng)不用風(fēng)機時也可用空氣壓縮機或真空泵。

3. 檢測報告應(yīng)包括以下內(nèi)容:

      (1)檢測條件,包括室內(nèi)溫度等。

      (2) 檢測方法包括檢測所用儀器設(shè)備規(guī)格型號及精度;室內(nèi)溫度的動態(tài)變化;漏泄量的動態(tài)變化。

      (3) 檢測結(jié)果包括所測潔凈室5min內(nèi)的每小時漏泄率;所測潔凈室圍護結(jié)構(gòu)嚴(yán)密性的評價。

四、潔凈室氣密性檢測安全要求

1.  應(yīng)制定防范預(yù)案。

2.  必須對被檢驗室內(nèi)的溫度進行監(jiān)測。

3.  恒壓法測試持續(xù)時間不宜太長。

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