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潔凈室純化水與高純水設計要求：（1） 純化水處理設備的安裝除應符合設計要求外，還應符合現行國家標準《電子級水》GB 11446.1等有關規定。 （2） 純化水處理流程工藝布置與安裝方式應合理、安全、...
潔凈室給水排水系統設計要求：1. 污染區域特別是微生物污染區域內的供水管，不得與用水設備直接相連，必須有空氣隔斷，配水口應高出用水設備溢出水位，間隔不應小于2.5倍出水口口徑。在供水點和供水管路上均應...
潔凈室氣體系統分項驗收要求:（1） 各種成品應有產品合格證，材料應有質量證明文件。 （2） 實際使用的管道材料和規格應符合設計要求。...
潔凈室氣體管道系統吹除和供給裝置要求:1. 氣體管道各項試驗合格后，應使用與潔凈室潔凈度級別匹配的潔凈無油壓縮空氣或高純氮氣吹除管內污物，吹除氣流流速應大于20m／s，直至末端排出氣體在白紙上無污痕為...
潔凈室氣體管道系統強度試驗要求:1. 可燃氣體和高純氣體等特殊氣體閥門安裝前應逐個進行強度和嚴密性試驗。管路系統安裝完畢后應對系統進行強度試驗。強度試驗應采用氣壓試驗，并應采取嚴格的安全措施，不得采用...
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